PI 六軸小型六足位移臺

高精度連續(xù)旋轉(zhuǎn)直驅(qū)轉(zhuǎn)臺

納米級定位精度垂直運(yùn)動Z向平臺

堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System）

復(fù)合式二維平臺（Planar Platform）

磁浮多軸運(yùn)動臺（Maglev Multi-axis Stage）

多軸微動臺（MZ3T Stage）

磁懸浮垂向與旋轉(zhuǎn)臺

二維精密轉(zhuǎn)臺（Gimbal Stage）

平面式運(yùn)動臺（Planar-Series XY Stage）

垂向臺（Lift and Z Stage）

單軸直線運(yùn)動臺

一維轉(zhuǎn)臺（Rz Stage）

直線電機(jī)

帶有無刷電機(jī)的 IDL-BL 中行程工業(yè)線性平移臺

XM 線性電機(jī)平移臺

One-XY 中行程集成 XY 線性平移臺

IDL-V 工業(yè)級電動垂直位移臺

IDL 長行程工業(yè)級線性平移臺

SinguLYS™ Single Axis Air Bearing Stages

HybrYX™ G5 大型基板定位空氣軸承平移臺

HybrYX™ XY 混合空氣軸承 XY 平移臺

DynamYX® RS 分劃板定位空氣軸承平移臺

DynamYX® 300 晶片定位空氣軸承平移臺

DynamYX® GT 空氣軸承平移臺

DynamYX® DATUM® 超高性能空氣軸承平移臺

SW系列晶圓對準(zhǔn)/鍵合/解鍵合設(shè)備

智能直驅(qū)傳輸系統(tǒng)（IDTS）

光學(xué)測量方案

半導(dǎo)體設(shè)備方案